8月13日消息，日本日本冲绳科学技术大学院大学开发出一项技术，宣布可大幅降低极紫外光刻设备的出新成本耗电量和制造成本。这项技术将从设备的技术光源到光刻的EUV路径上配置的反光镜数量从原来的10个减少到4个。以EUV光源为中心，幅降整体耗电量可减至原来的低极约十分之一。设备的紫外制造结构也可大幅简化，因此当前估计需要200亿日元左右的光刻设备引入成本几乎可以减半。

该大学将与企业合作，设备力争实现这种设备的耗电日本国产化。（日经新闻）